该项目游戏 背景
某大半导加工加工客户座落长三角经济区形省市,包括加工晶圆和集成电路芯片。在加工的阶段中,晶圆裁切和打蜡 的阶段导致海量粉磨液污废水 ,日访问量环境污染物物量约50吨。是因为污废水 中含高氧化还原电位自动隐藏物、金属材料亚铁离子及无机使用剂,随便环境污染物物会对环境有嚴重环境污染,客户肯定需要搭建专业的外理设备。
废水处理方法组成成分及来原
抛光剂液化工废水具体来自于晶圆制作中的无机化学机械化抛光剂(CMP)程序,具体环保问题物涵盖:
悬屏粒子物
:二硫化硅、硫化铝等磨研粒状,粒级在0.1-1μm,氧化还原电位高达到2000mg/L。
轻金属阴离子
:铜、铁、锌等,出自cnc精密机械加工垫磨损情况及晶圆表面能复合层,铜阴离子浓度值约50mg/L。
有机酸“化学试剂
:涉及到的表面吸附性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱度性类物质
:pH值上下波动大,一般 在2-11直接。
清理施工工艺程序
重要性废液因素,运用“预加工+血生化+广度加工”结合加工过程:
调结池
:均等化水的质量水流量,加入酸性的调节pH至碱式盐。
沥青混凝土积淀
:加药系统PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),取除浮动物和氢氧化铁,沉降后SS取除率>90%。
催化剂的作用硫化
:采取Fenton微生物培养基(H₂O₂+Fe²⁺)分解生物碳加上剂,COD清除率达60%。
生物体处置
:MBR膜海洋生物体现器进十步吸附累计有机酸物,COD降低100mg/L下面的。
铁离子交互
:专用的树脂材料吸铜阳离子,冒水铜含氧量<0.5mg/L。
砂滤+活力炭筛选
:保证出水出水清冽,到达《把污水综和排污规范规则》(GB8978-1996)特一级规范规则。
结果成效
设计运作增强后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。
中水回用率达40%,多余符合标准尾气尾气排放标准,年降低废水处理方法尾气尾气排放标准1.八万吨。
治理的成本约15元/吨,远底于业平均的。