该工业企业硅片出产历程中出现四氟化硅（SiF₄）尾气，盐浓度约150-300mg/m³，尾气中包含有少许氟化氢（HF）和氮腐蚀物（NOx）。 处工院艺 ： 主要采用“水吸附剂+碱液中合+活性酶类炭吸附剂”艺： 水汲取塔 ：SiF₄碰到水作用转换氟硅酸（H₂SiF₆）和HF。 碱液结合 ：NaOH氢氧化钠溶液中合咸性有机化合物，转化Na₂SiF₆水解。 活力性炭吸附剂 ：进一次清掉残留物氟化物及NOx。 作业使用效果 ： 操作后废气尾气排放氟化物总氨水浓度<3mg/m³，NOx<50mg/m³，超过《细颗粒物污染破坏物网络综合尾气排放规定》（GB16297-1996）规定。 四、企业现状及与以后进展上升趋势 阶段，含氟有机废气物处理的技术已取决于成孰，但制造业仍面临着低于挑站： 低人工成本提高效率技術业务需求 ：目前有湿法操作工作代价较高，干法过滤剂回收技术性待优化网络。 资源共享化采用 ：如回收处理氟硅酸制得氟盐，建立废弃物的污泥处置。 智力化设定 ：借助免费在线污染监测与主动自动调节，增长办理操作系统平稳性。 前景，现在环保型规范趋严，含氟印刷废气处置将向 极有效率化、低万元产值能耗、影视无害化 方向上进步，组合式工序（如等正离子体+离子液体钝化）或将称为学习热点事件。 五、依据 含氟印刷尾气加工需运用印刷尾气化学成分、有机印刷减排物质量浓度值取舍适当的加工，湿法汲取好于高有机印刷减排物质量浓度值强酸印刷尾气，干法吸更好低有机印刷减排物质量浓度值繁琐印刷尾气。依据具代表性案例分析屏蔽，运用加工能更有效提升洗去利用率，切实保障标准减排。企业的应运用主观能动性实际情况，取舍条件能力现实可行的技巧设计，与此同时特别关注业内新技巧成长，以变现环境与条件能力作用互利。