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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆生产的线整套搭配的超纯净水程序,天天引发含硅污水150吨。污硫酸铜溶液虽无高价属,但硅占比高易水垢,且阻值率需实现18MΩ·cm才可工业生产废水除理。原来除理工学院艺不可能拥有新颁发的《网络工业生产水空气有机废气排卸标准规范》(GB39731-2020)格外排卸最大限度。 废水处理工艺的成分优势 重点被污染的物 :悬浊液硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(孔径0.1-1μm) 独特必须 :TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L 水的硬度基本特性 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅有机化合物基本特征比较复杂 清理工艺技术方案 技术创新分为"梯级膜剥离+电去正离子"组合名字艺: 微滤预正确处理 :1μm卫浴陶瓷膜过滤大粒子硅,通量长期保持80LMH 铁离子对换光敏树脂 :D201大孔环氧树脂选性过滤硅酸团伙 二次RO系统软件 :1、段回收利用率60%,其次段主要采用高脱硼膜组件 EDI电去亚铁离子 :电压体积密度2A/m²,快速弄掉残留阴阳离子 UV紫外线消菌 :254nm红外光谱线的用药量40mJ/cm² 技术性特点 开发设计多功能阻硅剂(有机化学胺类混合物),延迟膜环保问题期3倍 EDI版块什么是创新流道结构设计,硅删去率升高至99.8% 上线硅定性检测仪(自动测量标准0.1-500μg/L)做到脱贫攻坚操作 开机运行取得成效 经三、方检侧: 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼成分从8μg/L调至0.3μg/L 系统环保再生资源回加标回收率从原40%完善至68% 膜更新时间段提高至5年,年电脑运行成本预算大幅度降低35%

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