该厂为8厘米晶圆生产的线整套搭配的超纯净水程序,天天引发含硅污水150吨。污硫酸铜溶液虽无高价属,但硅占比高易水垢,且阻值率需实现18MΩ·cm才可工业生产废水除理。原来除理工学院艺不可能拥有新颁发的《网络工业生产水空气有机废气排卸标准规范》(GB39731-2020)格外排卸最大限度。
废水处理工艺的成分优势
重点被污染的物
:悬浊液硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(孔径0.1-1μm)
独特必须
:TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L
水的硬度基本特性
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅有机化合物基本特征比较复杂
清理工艺技术方案
技术创新分为"梯级膜剥离+电去正离子"组合名字艺:
微滤预正确处理
:1μm卫浴陶瓷膜过滤大粒子硅,通量长期保持80LMH
铁离子对换光敏树脂
:D201大孔环氧树脂选性过滤硅酸团伙
二次RO系统软件
:1、段回收利用率60%,其次段主要采用高脱硼膜组件
EDI电去亚铁离子
:电压体积密度2A/m²,快速弄掉残留阴阳离子
UV紫外线消菌
:254nm红外光谱线的用药量40mJ/cm²
技术性特点
开发设计多功能阻硅剂(有机化学胺类混合物),延迟膜环保问题期3倍
EDI版块什么是创新流道结构设计,硅删去率升高至99.8%
上线硅定性检测仪(自动测量标准0.1-500μg/L)做到脱贫攻坚操作
开机运行取得成效
经三、方检侧:
总硅从280mg/L降落到0.05mg/L
硼成分从8μg/L调至0.3μg/L
系统环保再生资源回加标回收率从原40%完善至68%
膜更新时间段提高至5年,年电脑运行成本预算大幅度降低35%