某半导体器件基带芯片解决厂在晶圆解决工作中,食用硅烷完成硅本质萌发,空气干洗塔有高有机废气浓度含硅污废液 。污废液 存在pH冲击大(2-11)、硅硫含量高的特性,传统的解决的方式易有硅垢不通间题。
工业废水营养成分及渠道
工业废水重要因素为:
容解性硅酸盐
:SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L
浓盐酸/氢氧化的钠
:洗條塔强酸强碱洗條液残渣
颗粒肥料硅
:微米级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:物料溶物带到
处置加工方案
转型升级选取"有级中合+膜过滤清洁+多效蒸发沉淀"工序:
四级与
:用CaO调节器pH至4-5,生产硅酸钙石雕文化沉淀,硅快速清理率60%。
二次元采和
:加Na₂CO₃将pH升高至9,进十步沉定其他硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置系统化
:0.02μm瓷质膜滤过纳米级级硅颗粒状,通量平衡在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:浓缩液高盐电镀废水,沉淀出Na₂SO₄副产物设备,水使用率超90%。
以后郊果
总硅从1500mg/L降到5mg/L一些
砷分量从0.8mg/L减少为0.01mg/L
设备无积灰运营不超2年
每一年的回收处理硫酸钠钠多晶体约800吨