某半导制造技术工厂因晶圆洁净制作工序导致含氨生活污水，出水量200吨/天。生活污海里除化学需氧量外还含带氟化物和进样器巨资属，办理困难大。本地产生规格特殊要求化学需氧量＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 污废水 材料及源于 晶圆刷洗生活污水（大部分从何而来）：含化学需氧量200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀生产工艺废水处理：含进样器铜、镍等天价属，pH值动荡大 CMP考虑废气：含硅粒状及氟化物 解决生产技术标准流程 通过"电化学结晶+膜转移+折点氯化"組合加工制作工艺 ： 预处里 ：加药系统CaCl2除氟，有效控制pH在7.5-8. 反渗透膜系统性 ：弄掉0.01μm以内颗料物 反渗溶缩 ：将高锰酸盐指数浓缩造成至1000mg/L左右 折点氯化 ：精确度高设定氯污泥脱水量，将氟化物转变为惰性气体 阴离子交易 ：有效保障高价属符合标准 以后目的 高锰酸盐指数稳定性高＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属分子量不高于监测限 水使用率达75% 飞灰诞生量以减少40%