郑州某半导体行业电子器件创造厂,晶圆制作流程中制造含硅、氟的层次性废水外理方法步骤办理工艺,制定办理面积1200吨/日。废水外理方法步骤办理工艺营养成分复杂化,内含奈米级硅科粒及氢佛酸,过去的办理方法步骤不可未达标。
废气有效成分及主要来源
通常环境破坏物
:悬浊液硅(100-500nm比表面积)、氟化合物(200-300mg/L)、异丙醇
来源于流程
:晶圆刻蚀污化工废水 (45%)、CMP化学工业机打磨抛光污化工废水 (40%)、设备洗水(15%)
办理生产技术注意事项
不断创新用到"化学工业沉淀自己+重型膜剥离 "科技行车路线:
钙盐沉淀自己
:加药氯化钙清掉氟亚铁离子(转化成CaF2沉淀物中)
二沉池生理反应
:和好斜管沉淀池剂改变胶体溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm外径膜挤占微细顆粒
反覆盖模式
:脱盐率>98%,二手回产出率75%
汽化晶体
:浓水段构建氟化物零直接排放
终究的效果
氟化物渗透压:<8mg/L(小于政府一级通过成绩规范10mg/L)
硅占比:<5mg/L
水能源回收利用率:70%用来冷确塔补充水分
危废处理回收利用:蒸馏渣子量较过去的加工增多60%