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含硅废水怎么处理方法|含硅废水处理案例

郑州某半导体行业电子器件创造厂,晶圆制作流程中制造含硅、氟的层次性废水外理方法步骤办理工艺,制定办理面积1200吨/日。废水外理方法步骤办理工艺营养成分复杂化,内含奈米级硅科粒及氢佛酸,过去的办理方法步骤不可未达标。 废气有效成分及主要来源 通常环境破坏物 :悬浊液硅(100-500nm比表面积)、氟化合物(200-300mg/L)、异丙醇 来源于流程 :晶圆刻蚀污化工废水 (45%)、CMP化学工业机打磨抛光污化工废水 (40%)、设备洗水(15%) 办理生产技术注意事项 不断创新用到"化学工业沉淀自己+重型膜剥离 "科技行车路线: 钙盐沉淀自己 :加药氯化钙清掉氟亚铁离子(转化成CaF2沉淀物中) 二沉池生理反应 :和好斜管沉淀池剂改变胶体溶液硅脱稳 管式微滤 :0.1μm外径膜挤占微细顆粒 反覆盖模式 :脱盐率>98%,二手回产出率75% 汽化晶体 :浓水段构建氟化物零直接排放 终究的效果 氟化物渗透压:<8mg/L(小于政府一级通过成绩规范10mg/L) 硅占比:<5mg/L 水能源回收利用率:70%用来冷确塔补充水分 危废处理回收利用:蒸馏渣子量较过去的加工增多60%

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